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鍺濺射靶材由高純鍺金屬組成。是一種硬而脆的材料，具有半金屬，灰白色的外觀。它的密度為5.35 g / cc，熔點(diǎn)為937°C，在1,167°C下的蒸氣壓為10 -4 Torr。在光學(xué)存儲(chǔ)介質(zhì)和光學(xué)涂層的生產(chǎn)中，它經(jīng)常在真空下蒸發(fā)以形成層。這種材料的其他用途是用作合金化劑和催化劑。