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硅靶材

硅(Silicon),是一種化學元素,化學符號是Si,舊稱矽。原子序
數(shù)14,相對原子質量28.0855,有無定形硅和晶體硅兩種同素異形
體,屬于元素周期表上第三周期,IVA族的類金屬元素。
硅也是極為常見的一種元素,然而它極少以單質的形式在自然界出。
現(xiàn),而是以復雜的硅酸鹽或二氧化硅的形式,廣泛存在于巖石、砂
礫、塵土之中。硅在宇宙中的儲量排在第八位。在地殼中,它是第
二豐富的元素,構成地殼總質量的26.4%,僅次于第一位的氧(49.4
%) 。

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